隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,氣體工業(yè)特別是高純和超高純氣體以及電子用氣體行業(yè)也蓬勃發(fā)展。氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的關(guān)鍵環(huán)節(jié),而這些氣體中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn),原有的熱導(dǎo)等色譜檢測(cè)器均無(wú)法滿足高純氣體分析的要求。脈沖放電氦離子化檢測(cè)器(PDHID)是一種靈敏度極高的通用型檢測(cè)器,對(duì)幾乎所有無(wú)機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),可以達(dá)到ppb級(jí)的雜質(zhì)分析特別適合高純氣體的分析
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一般意義上的氦離子化氣相色譜儀是專(zhuān)業(yè)型的色譜儀,其色譜檢測(cè)器為氦離子化檢測(cè)器(HID)。根據(jù)氣相色譜儀專(zhuān)業(yè)化分析,主要用于高純乙炔和含氧碳?xì)浠衔锏臏?zhǔn)確測(cè)量,適用于設(shè)計(jì)、開(kāi)發(fā)及過(guò)程分析中。整個(gè)系統(tǒng)由主機(jī)氣相色譜儀,色譜工作站和具有凈化器的載氣等組成。該儀器采用高純度氦氣純化載氣(流動(dòng)相),切割柱和分析柱為GDX502。樣品經(jīng)定量閥進(jìn)樣后,將進(jìn)入氦離子檢測(cè)器,色譜柱分離,出現(xiàn)亞穩(wěn)狀態(tài)下的非彈性碰撞,用氦氣,輸出電流從探測(cè)器收集相應(yīng)的mirco。電流信號(hào)經(jīng)微電流放大器放大比例在一定范圍內(nèi)的成分含量。在相同條件下,色譜峰應(yīng)與標(biāo)準(zhǔn)樣品比較,以確定保留時(shí)間和數(shù)量由信號(hào)質(zhì)量。
 
 
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